

產(chǎn)品簡(jiǎn)介
真空管式爐是一款臥式密閉管式高溫?zé)崽幚碓O(shè)備,集成真空、氣氛、程控加熱一體化系統(tǒng),主要用于實(shí)驗(yàn)室與中試生產(chǎn)。設(shè)備采用雙層風(fēng)冷爐體,兩端真空法蘭密封爐管,可抽至真空狀態(tài)或通入氮?dú)狻鍤獾缺Wo(hù)氣氛,隔絕空氣避免工件氧化。
產(chǎn)品分類
雙層風(fēng)冷爐體:冷軋鋼板外殼,中間循環(huán)風(fēng)冷,1000℃高溫時(shí)外殼溫度≤60℃;內(nèi)層氧化鋁多晶纖維保溫,保溫層厚度 80–150mm,節(jié)能、溫場(chǎng)均勻。
加熱升溫系統(tǒng)
1200℃機(jī)型:鐵鉻鋁電阻絲
1400℃機(jī)型:硅碳棒
1600℃機(jī)型:高純硅鉬棒
爐管腔體(核心耗材)
石英管:≤1100℃,透光、耐酸堿,中性氣氛
99 剛玉氧化鋁管:≤1600℃,耐高溫、抗氧化
石墨管:2000℃超高溫,僅限惰性氣氛,禁氧
真空密封系統(tǒng):KF 真空法蘭 + 氟橡膠 O 圈 / 金屬密封;機(jī)械泵、分子泵機(jī)組可選
氣氛氣路系統(tǒng):多路進(jìn)氣、轉(zhuǎn)子流量計(jì) / MFC 質(zhì)量流量計(jì),支持 N?、Ar、低濃度 H?、氨氣
智能溫控系統(tǒng):觸摸屏 PID 程序控溫,多段升降溫、超溫、斷偶、漏電多重安全保護(hù)
高密封真空環(huán)境:可反復(fù)抽真空 - 充氣置換,極低氧分壓,適配易氧化粉體、金屬、鋰電材料燒結(jié)
精準(zhǔn)程序控溫:30–50 段工藝曲線存儲(chǔ),升溫速率 0–20℃/min 可調(diào),控溫精度 ±1℃,恒溫區(qū)溫差 ±2~5℃
低能耗輕量化爐膛:真空成型氧化鋁纖維,重量?jī)H傳統(tǒng)耐火磚 1/5,升溫快、降溫快
安全防護(hù)齊全:雙層隔熱風(fēng)冷、超溫自動(dòng)斷電、加熱元件過(guò)流保護(hù)、氫氣選配防爆結(jié)構(gòu)
靈活定制:管徑 φ40/60/80/100/120mm;恒溫區(qū) 200–600mm;單 / 雙溫區(qū)、旋轉(zhuǎn)管式、立式可選
新能源:鋰電池正負(fù)極材料煅燒、固態(tài)電解質(zhì)燒結(jié)
粉末冶金:鈦合金、不銹鋼、銅基粉末真空燒結(jié)、退火、釬焊
陶瓷材料:氧化物、氮化物、碳化物陶瓷高溫?zé)Y(jié)、排膠
半導(dǎo)體 / 納米:CVD 氣相沉積、薄膜制備、納米粉體熱解
高校科研:固相合成、熱重實(shí)驗(yàn)、金屬還原、氮化、碳化實(shí)驗(yàn)
| 參數(shù)項(xiàng)目 | 標(biāo)準(zhǔn)指標(biāo) |
|---|---|
| 控溫方式 | 智能觸摸屏 PID 可編程控溫 |
| 控溫精度 | ±1℃ |
| 溫場(chǎng)均勻度 | ±2~5℃(恒溫段內(nèi)) |
| 升溫速率 | 0~20℃/min(分段限速,高溫段≤5℃/min) |
| 程序段數(shù) | 30~50 段,存儲(chǔ) 100 組工藝曲線 |
| 測(cè)溫元件 | K 型(≤1200℃)/S/B 型(1400/1600℃) |
| 爐體結(jié)構(gòu) | 雙層殼體 + 風(fēng)冷循環(huán),外殼≤60℃ |
| 安全保護(hù) | 超溫、斷偶、過(guò)流、漏電、加熱故障報(bào)警停機(jī) |
| 電源 | φ≤80 小管徑:220V 單相;大管徑 / 1600℃:380V 三相 |
| 整機(jī)功率 | 3–10kW(隨管徑、恒溫區(qū)加長(zhǎng)遞增) |
| 適用氣氛 | N?、Ar、CO?;選配防爆可通 5% 以下 H?、分解氨 |
| 氣路配置 | 標(biāo)配 2 路進(jìn)氣,可選 MFC 精密質(zhì)量流量控制 |
短時(shí)最高溫度:1200℃;長(zhǎng)期連續(xù)使用:≤1100℃
加熱元件:鐵鉻鋁電阻絲
標(biāo)配爐管:高純石英管 φ40/60/80/100mm
標(biāo)配真空:?jiǎn)渭?jí)旋片機(jī)械泵,極限真空≤1Pa
恒溫區(qū)可選:200/300/400mm
適用:鋰電材料、普通陶瓷、金屬退火、CVD 低溫沉積
短時(shí)最高溫度:1400℃;長(zhǎng)期連續(xù)使用:≤1300℃
加熱元件:硅碳棒
標(biāo)配爐管:99 剛玉氧化鋁管
真空選配:機(jī)械泵(≤1Pa)/ 機(jī)械泵 + 分子泵(5×10?3Pa 高真空)
恒溫區(qū):250–450mm
適用:氧化物陶瓷、硬質(zhì)合金、熒光粉、還原燒結(jié)
短時(shí)最高溫度:1600℃;長(zhǎng)期連續(xù)使用:≤1550℃
加熱元件:高純硅鉬棒
測(cè)溫:B 型鉑銠熱電偶
爐管:高純剛玉管(石英管不可用)
保溫層厚度:150mm 加厚氧化鋁纖維
真空系統(tǒng)標(biāo)配分子泵機(jī)組,高真空環(huán)境
適用:氮化鋁、碳化硅、特種陶瓷、航空合金熱處理
低真空標(biāo)配:?jiǎn)渭?jí)旋片泵,極限真空 ≤1Pa,負(fù)壓 - 0.099MPa,滿足常規(guī)惰性氣氛置換
高真空高配:機(jī)械前級(jí)泵 + 渦輪分子泵,極限真空 5×10?3Pa,適配高純材料、薄膜沉積、低分壓還原工藝
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